Apa itu Pita Indikator Plasma?

Pita indikator plasma adalah bahan pendeteksi cerdas yang khusus digunakan untuk sistem vakum dan proses plasma. Ini memberikan umpan balik real-time pada parameter utama melalui perubahan fisik dan kimia khusus. Ini secara intuitif dapat menampilkan status plasma dan kebocoran mikro yang tidak terlihat oleh mata manusia.

1. Tindakan pencegahan dalam penggunaan pita indikator plasma

(1). Perlakuan awal permukaan

Sebelum ditempel, permukaan yang akan diuji harus dibersihkan dengan aseton atau isopropil alkohol. Setelah dilap, diamkan selama 2 menit untuk memastikan pelarutnya benar-benar menguap. Energi permukaan setelah perawatan harus ≥38dyn/cm, yang dapat diverifikasi dengan uji pena dyne. Jangan menyentuh langsung permukaan perekat dengan jari untuk menghindari kontaminasi minyak yang dapat menyebabkan penurunan sensitivitas.

(2). Operasi penempelan

Setelah melepas pita indikator dari film pelepas antistatis, gulung perlahan di salah satu ujungnya dan berikan tekanan seragam sebesar 0,5-1kg/cm². Gunakan pengikis silikon untuk mendorong bagian tepinya guna menghilangkan gelembung. Gelembung kecil dengan diameter ≤1mm diperbolehkan. Setelah menempel, diamkan selama 5 menit agar lapisan perekat rata sepenuhnya. Dilarang keras mengupas dan menempel berulang kali. Setiap penempelan ulang akan menyebabkan daya rekat berkurang lebih dari 50%.

2. Kriteria Kegagalan Pita Indikator Plasma

(1) Kriteria Kegagalan Fisik

Kerusakan media: retakan yang terlihat (panjang > 2 mm) atau terjadi delaminasi, dan media mengalami lengkungan permanen (radius pembengkokan > 15°).
Kegagalan perekat: luas sisa permukaan perekat > 5% (mempengaruhi adhesi ulang), kekuatan pengelupasan turun hingga kurang dari 30% dari nilai awal (harus diuji dengan alat uji tarik).
Kontaminasi dan korosi: kontaminan partikel yang tidak dapat dihilangkan menempel pada permukaan (ukuran partikel > 50μm dan kepadatan > 3/cm²), dan substrat terkikis oleh plasma membentuk lubang (diameter > 1mm).

(2) Kriteria Kegagalan Kimia

Reaksi perubahan warna yang tidak normal: dalam kondisi standar (seperti plasma argon 50W), waktu perubahan warna melebihi nilai nominal sebesar ±30%, dan area perubahan warna menunjukkan difusi yang tidak seragam (perbedaan diameter titik warna > 20%).
Kegagalan pelapisan: area pengelupasan lapisan sensitif > 10% (pengamatan mikroskop), nilai ΔE turun > 40% setelah penggunaan berulang (deteksi spektrofotometer). Kerusakan stabilitas kimia: Penggetasan substrat terjadi setelah paparan gas korosif (seperti Cl₂, F₂), dan paparan kumulatif terhadap konsentrasi ozon lebih besar dari 0,2ppm selama lebih dari 24 jam.

Pita Indikator Plasma harus diganti jika terjadi kondisi berikut:
Retakan atau delaminasi yang panjangnya lebih dari 2 mm terjadi pada substrat; Luas permukaan sisa perekat yang lebih besar dari 5% mempengaruhi perekatan ulang; Waktu respons perubahan warna meningkat lebih dari 50% dibandingkan nilai awal; Akumulasi waktu pemaparan melebihi umur yang ditentukan pabrikan.

3. Kondisi Penyimpanan Pita Indikator Plasma

(1) Persyaratan lingkungan

Suhu: 15-25℃ (fluktuasi <±3℃/jam)
Tahan cahaya: intensitas UV <10μW/cm²
Tahan debu: Kebersihan Kelas 1000 atau lebih rendah

(2) Spesifikasi kemasan

Kantong aluminium foil asli tersegel (laju transmisi uap air <0,1g/m²/hari)
Disimpan di dalam lemari antistatis (ketahanan permukaan 10³-10⁶Ω)